一、硅晶片真空烘箱箱體規格

箱體結構：連體式，真空泵置于機臺下部；

隔層：內分二層，配網板二塊，可活動抽出；

面板安裝：控制面板安裝于機臺下方（如設備外觀圖）；

開門方式：單由右至左開啟;

可視窗：門上帶可視窗，規格W250×H300mm；

內箱材料為：304#不銹鋼工業板；內箱加強處理，抽真空不變形；

外箱材料為：冷軋鋼板,厚1.2mm,表面烤漆處理；

保溫材質為：耐高溫巖棉，保溫層厚100mm，保溫效果好；

安裝帶剎車活動腳輪，可任意推動；

二、硅晶片真空烘箱控溫系統

溫度范圍：常溫+30℃～200℃

控制精度：±0.5℃

顯示精度：0.1℃        

箱內溫度均勻度：±5℃%(無真空時，空箱測試)

升溫速率：RT→100℃（約30分鐘），200℃（約45分鐘）

三、真空系統

真空度：0～-101KPa

真空保壓泄漏率：約0.8KPa每小時

采用高密封性的硅膠密封條保障整機的密封性；

采用數顯示式真空表直接顯示內箱真空度，讓你即時了解箱體內的真空狀態，真空度達到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)

四、充氮氣裝置

1、調壓閥：控制氮氣壓力，正常使用下氮氣壓力調為2.5公斤左右；

2、面板流量計：控制氮氣進入箱內的大小，量程為10L/min-60Lmin；

3、氮氣管道進入到箱內正后面，調壓閥處預留8mm快插氣管接口；

4、注：氮氣由用戶自備。

真空干燥箱先抽真空再升溫加熱的原因

1)工件放入真空箱里抽真空是為了抽去工件材質中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件，氣體遇熱就會膨脹。由于真空箱的密封性非常好，膨脹氣體所產生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆裂。這是一個潛在的危險。按先抽真空再升溫加熱的程序操作，就可以避免這種危險。

2)如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時候，熱量必然會被帶到真空泵上去，從而導致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。

3)加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產生示值誤差。

正確的使用方法應該先抽真空再升溫加熱。待達到了額定溫度后如發現真空度有所下降時再適當加抽一下。這樣做對于延長設備的使用壽命是有利的。