三層真空烤箱的常見故障及解決方法：

　　1、故障現(xiàn)象：芯部溫度升溫慢

　　原因分析：工作室內(nèi)運(yùn)風(fēng)不正常，熱風(fēng)無法吹出；電池堆放過多，堵住熱風(fēng)循環(huán)；內(nèi)發(fā)熱絲壞。

　　解決辦法：拆開工作室隔板，檢查是否風(fēng)扇損壞；常壓情況下，用手持式溫控儀檢查腔內(nèi)溫度是否與芯部探測(cè)一致；測(cè)量發(fā)熱絲阻值，檢查是否發(fā)熱絲損壞。

　　2、故障現(xiàn)象：主控溫度頻繁報(bào)警

　　原因分析：主控溫度報(bào)警值設(shè)置過低，在充氮?dú)鈺r(shí)溫度超過報(bào)警溫度；芯部探頭沒有校正，與實(shí)際溫度有偏差；外加熱溫控補(bǔ)償值太高，PID設(shè)置不準(zhǔn)確；探頭異常。

　　解決辦法：在真空環(huán)境下充氮?dú)猓瑫?huì)導(dǎo)致溫度短暫升高，幾分鐘后會(huì)回落；常壓情況下，用手持式溫控儀檢查腔內(nèi)溫度是否與芯部探測(cè)一致；適當(dāng)將外主控溫控表的參數(shù)“PD”值設(shè)為正數(shù)，降溫后重新加溫，可以降低外加熱的補(bǔ)償量；檢查是否探頭失真，更換探頭。

　　3、故障現(xiàn)象：循環(huán)進(jìn)行中真空?qǐng)?bào)警

　　原因分析：腔體或其它機(jī)臺(tái)腔體有漏真空現(xiàn)象；有腔體一直“真空發(fā)出暫停信號(hào)”。

　　解決辦法：首先停止本腔體的真空運(yùn)行，檢查是否有真空泄漏；排查其它腔體泄漏可能性。

　　4、故障現(xiàn)象：循環(huán)進(jìn)行中低溫報(bào)警

　　原因分析：外加熱系統(tǒng)中運(yùn)行異常，可能風(fēng)機(jī)損壞，或發(fā)熱絲有損壞；內(nèi)加熱風(fēng)機(jī)或發(fā)熱絲損壞；

　　解決辦法：檢查內(nèi)外加熱系統(tǒng)，檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常；檢查內(nèi)外發(fā)熱絲是否有損壞；檢查電壓是否有缺相或接觸器損壞。

　　5、故障現(xiàn)象：內(nèi)風(fēng)扇2A小型斷路器跳閘

　　原因分析：風(fēng)扇有燒壞；風(fēng)扇卡死。

　　解決辦法：檢查風(fēng)扇是否卡死，更換風(fēng)扇。

　　6、故障現(xiàn)象：外發(fā)熱包干燒報(bào)警

　　原因分析：外風(fēng)機(jī)損壞；溫控表設(shè)置溫度過低；

　　解決辦法：檢查風(fēng)機(jī)是否損壞；將溫控表的報(bào)警值適當(dāng)調(diào)整到合適。